罗茨螺杆真空机组组配用的前级泵，采用进口等螺距螺杆真空泵。主要表现在振动小、噪声低、抽气效率高、高压运转时可靠信好等。由于上述真空泵的诸多优点，从而保证了机组具有良好的抽气效率。
 

　　罗茨螺杆真空机组是由常规罗茨泵与干式螺杆泵串联组成，同时配有管路、阀门、机架及电器控制箱等，当前级干式螺杆泵工作后，由真空规头及真空继电器来控制罗茨泵的起动。由于罗茨泵与螺杆泵转动部件都是不接触件，因此机组具备运转平稳、噪音低、振动小，结构紧凑、占地面积小等优点。
 

　　罗茨螺杆真空机组因节能效果明显，高真空区抽气量大，真空度高 , 是电工、电子、 镀膜、冶炼、热处理、干燥、蒸馏、制药、化工、军工、航天等行业理想的抽气设备。特别适用于要求无油蒸汽污染的半导体行业，同时也适用于含有大量水蒸汽及少量粉尘的抽气场合。
 

　　罗茨螺杆真空机组产品特点主要表现在振动小、噪声低、抽气效率高、高压运转时可靠信好等。由于上述真空泵的诸多优点，从而保证了机组具有良好的抽气效率。
 

　　目前机组上采用的罗茨泵为普通ZJ型或ZJP型罗茨泵，由于ZJ型或ZJP型罗茨泵必须在真空系统被前级泵抽到罗茨泵的允许起动压力后才可起动罗茨泵工作。因此，一般在机组进气口处须安装电接点压力表，通过电接点压力表可控制罗茨泵的启动和停机。即当前级VPS螺杆泵起动后开始对系统进行预抽,当系统压力(即罗茨泵进气口处压力)达到允许罗茨泵启动的设定压力(即电接点压力表绿针所指压力值)时，罗茨泵就可起动工作。如果在机组各泵已处于正常工作情况下，由于发生特殊情况当罗茨泵进气口压力高于电接点压力表上绿针所指值时，罗茨泵立即会自动停机，这样就可实现罗茨泵的自动过载保护，从而可以避免机组出现过载和过热而导致机组发生故障。