真空泵作为现代工业中真空获得设备，广泛应用于半导体制造、光伏产业、医药化工、真空干燥与镀膜等领域，凭借其无油运行、低振动、高效率与耐腐蚀特性。
真空泵通过一对精密配合的螺旋转子在泵腔内同步旋转，实现气体的连续吸入、压缩与排出，构建清洁、稳定的真空环境。
1、螺杆转子
由一对经高精度磨削加工的阴、阳螺杆转子构成，型线优化设计，确保啮合间隙极小（通常5–20μm），实现高效密封与低泄漏。转子表面常进行特殊涂层处理（如镍磷合金、特氟龙），增强耐磨性与耐腐蚀能力，适用于含水汽、溶剂或弱腐蚀性气体的工况。
2、泵体腔室
采用高强度铸铁或不锈钢制造，内壁精密加工，确保与转子间的配合精度。腔体设计优化气流路径，减少涡流与阻力，提升抽气效率。部分型号采用夹套结构，可通入冷却液，控制泵体温升，保障长期稳定运行。
3、同步齿轮
位于轴承外侧，通过高精度斜齿轮传动，确保两转子以恒定速比（通常1:1）反向同步旋转。齿轮独立于泵腔，由润滑油润滑，避免润滑油进入真空腔，实现真正“干式”运行。精密加工与合理间隙设计，降低噪音与振动。
4、轴承系统
采用高精度角接触球轴承或圆柱滚子轴承，承受径向与轴向载荷。轴承位于泵腔外侧，由专用润滑脂或油路系统润滑，防止污染物侵入。部分泵配备轴承温度传感器，实现过热保护。
5、轴封装置
采用机械密封或迷宫密封结构，安装在转子伸出端，防止外部空气渗入真空腔或润滑油泄漏。机械密封多为双端面设计，可通入密封气（如氮气）进一步提升密封性能，适用于高纯度或危险气体环境。
6、进气口与排气口
进气口连接真空系统，通常配备内置或外置过滤器，防止颗粒物进入泵腔。排气口连接大气或前级泵，部分型号集成排气单向阀，防止停机时空气倒流。接口形式多样（法兰、螺纹），便于系统集成。
7、冷却系统
通过风冷（散热片+风扇）或水冷（冷却夹套）方式，带走压缩热与机械摩擦热。水冷型适用于高负荷连续运行，控温更精准；风冷型结构简单，维护方便。
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