1、真空泵本身漏气：

　　  1)密封圈漏气。应检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈，

　　  2)气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。应更换垫圈并拧紧气镇阀；

　　  3)排气阀片损坏，密封不好。应更换气阀片；

　　  4)真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或更换，

      5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。应拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。

　　2、真空泵油有问题，

　　  1)油位过低。应加足油量到油标中心线，

　　  2)油被沾污，油质变坏。应更换新油，

　　  3)油的牌号不符。应换规定牌号的真空泵油，

　　  4)油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。

　　3、进气口的过滤网被堵塞。应取下过滤网清洗干净，再装上去，

　　4、转子的弹簧变形或折断及旋片动作不灵。应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好，

　　5、真空泵温太高，

　　  1)被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内，

　　  2)吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，

　　  3)真空泵冷却水流不够。应加大冷却水流量，

　　  4)装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。

　　6、因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

　　7、真空泵运转中摩擦发热)温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。

　　真空泵真空度的调节：

　　很多微型真空泵的本身是没调节真空度的功能的，只有通过加阀门的方式调节。比如在泵的抽气端串一个精密泄压阀，当真空度较高时，把阀门打开，真空度就降下来了。这种精泄压阀还有有定向排放有毒的气体等，到容器的通道，这是很多阀门没有的功能。可以用智能真空泵，泵的上面有按钮，可以设定负压，还有液晶面板显示负压。另外还有一个旋钮，可以调节流量的大、小。这种智能真空泵又称交流电真空泵，数显真空泵。